SYSC-100型勻膠機（Spin Coater）、旋涂儀 旋轉(zhuǎn)涂膜儀，是新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設備，具有速度精度高，主動式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂層的制備。
產(chǎn)品特點
1. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
2. 真空室采用316L耐腐蝕不銹鋼制作，防止長期使用過程中膠液的侵蝕。
3. 接膠盤為PP材料經(jīng)精加工制作而成，接儲脫離基片的膠液，避免進入設備內(nèi)部。耐腐蝕、可拆卸、易清洗。
4. 旋轉(zhuǎn)臺采用鋁材制作，表面經(jīng)過硬質(zhì)氧化處理，耐摩擦同時避免劃傷基片底部。防止膠液的腐蝕。
5. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。
6. 4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示，更直觀了解勻膠進程；
7. 旋轉(zhuǎn)前增加預吸片步驟，“預吸片時間”*多為99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺后再進行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”*多為99s，確保**停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
8. 采用精密穩(wěn)定的直流電機及驅(qū)動器，旋轉(zhuǎn)速度采用主動控制方式，區(qū)別于老舊的被動測速控制方式，從而使旋轉(zhuǎn)速度更**。
9. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，防止飛片。
